基于MEMS传感器的工程强震动加速度计研制 |
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引用本文: | 杨江,范涛,黄蔚,邓涛,黄俊,袁琼.基于MEMS传感器的工程强震动加速度计研制[J].自然灾害学报,2022(4):181-189. |
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作者姓名: | 杨江 范涛 黄蔚 邓涛 黄俊 袁琼 |
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作者单位: | 1. 湖北省地震局地震预警湖北省重点实验室;2. 武汉地震科学仪器研究院有限公司;3. 湖北省重大工程地震监测与预警处置工程技术研究中心;4. 武汉地铁集团有限公司 |
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基金项目: | 湖北省自然基金创新群体项目(2021CFA035); |
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摘 要: | 由于基于微机电系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)的加速度芯片具备高精度、易集成、维护成本低等优点,在振动监测领域具有广泛的应用前景。为了验证基于MEMS传感器的工程强震动加速度计的可靠性,本文选择纳杰公司AS1002A芯片进行三轴向模块封装,依据地震行业加速度计接口规范,设计电源输入及信号输出调理电路,开展了基于标准振动台的性能对比测试。测试结果表明,该款加速度计的线性度误差仅为0.24%,在1~35 Hz范围内幅频特性误差小于±0.1 dB,白噪声测试精度高于0.005 cm/s2;能够满足工程强震动监测的应用需求。目前,该款加速度计已应用于武汉某超高层建筑的强震动监测,在2019年12月26日湖北应城4.9级地震中获得了良好的强震动数据产出。在强震动监测领域,随着MEMS传感器的不断完善及成本降低,MEMS加速度计将有可能全面取代传统机械式加速度计。
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关 键 词: | MEMS加速度芯片 强震动监测 性能对比测试 超高层 |
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