ArF准分子激光器废气分析及处理技术

随着稀有气体卤化物准分子激光器的推广应用,直接排入大气中的废气给人体和环境带来了严重危害。为了降低其危害程度,分析了Ar F准分子激光器工作气体反应动力学和废气成分,得知其危害主要来源于废气中的含卤气体。卤化物准分子激光器废气处理装置具有两级吸收净化含卤气体的功能,采用总体积约50 L的Na OH(1.0 mol/L)和Ca(OH)2(0.02 mol/L)碱液对废气中含卤成分进行第一次吸收,采用总质量约1.0 kg的Ca(OH)2和Ca O固态碱性粉末(质量比为74∶112)固态碱性混合物对废气进行进一步净化。使用该装置对医用型Ar F准分子激光器的废气进行净化处理实验研究,实验结果表明,该废气处理装置可以吸附废气中95.6%的氟气,而且当碱液吸附效果不明显时,只需增加质量约74 g的Ca(OH)2可恢复其活性。

The Exhaust Gas Analysis and Treatment Technology of ArF Excimer Lasers