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我厂在生产硅单晶过程中,需要使用高频区熔炉等工艺设备。过去由于高频区熔炉操作点电场强度高达150~400伏/米(参考标准为20伏/米),致使部分操作者血液中的白血球下降,有的甚至需住医院治疗。 为了保护操作工人的身体健康,我们设计并安装了一套炉体屏蔽装置及地线装置。经使用,该装置防护效果显著。 屏蔽装置 将一块铝板(600×400 × 2.5 毫米)覆盖在槽路电容箱体外壁(离外壁10厘米)上,再将另一块铝板(600×500 × 2.5毫米)用折页固定在这块铝板上。后者可以活动,拆炉时可以往右侧开启,开炉时可以往左侧闭合,将炉门覆盖。操作者可以通过安… 相似文献
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