硅烷的危险特性及安全操作

硅烷作为一种提供硅组分的气体源 ,广泛应用于微电子、光电器件以及高纯度多晶硅生产 ,潜在应用前景更为广阔。随着硅烷应用领域的扩大 ,硅烷安全使用和处理已成为首要的问题。通过对硅烷着火的研究和事故分析表明 ,硅烷的危险特性在于它与氧反应的极强活性 :自燃 ,着火下限低 ,燃烧能量大。由于硅烷的自燃特性 ,对它的安全防范 ,与一般的易燃易爆物质相比 ,除一些共同点之外 ,还有显著的不同之处。在操作中必须预防高浓度硅烷与氧接触发生自燃着火。同时还必须防止硅烷泄漏在有限的空间内与氧混合 ,形成不稳定爆炸性气团。笔者综合分析和研讨了硅烷着火和爆炸的最新进展和成果 ,在实践经验和分析典型硅烷事故的基础上 ,提出了处理和使用硅烷的安全操作要点。