多物理场下压力传感器失效分析方法

由于电力场景的复杂应用环境,应用于其中的压力传感器会面临温度,压力以及电场等多物理场的同时作用的考验,进而导致传感器失效。为分析压力传感器的失效机理,本文首先分析压力传感器的工作原理并基于此设计仿真,以获取压力传感器材料的屈服断裂特性;接下来基于有限元法对其进行力热电多物理场仿真分析,获取传感器在-50℃,20℃,40℃,60℃时和200kPa恒压下的输出电压,其中输出电压即代表着传感器灵敏度。仿真结果表明随着温度的升高,压力传感器的输出电压也随之升高,因此温度的变化会影响传感器的灵敏度。