大气压脉冲介质阻挡放电离子体研究进展

从脉冲等离子体电学特性和实际应用两个部分综述大气压脉冲介质阻挡放电的研究进展。关于脉冲等离子体电学特性,文中介绍了脉冲放电均匀性,并且对比了不同驱动电源的电气参数(包括电压、电流和电子密度等);关于脉冲等离子体实际应用,除了介绍在传统领域材料表面改性方面的应用进展,着重归纳了近十年来脉冲等离子体在环境VOCs治理领域的应用。总结了脉冲放电等离子体研究现状以及大气压脉冲气体放电等离子体应用存在的难点挑战和发展趋势。     

微波等离子体技术及研究进展

从微波等离子体发生及应用研究两个方面综述微波等离子体技术及研究进展,先从微波激励气体放电工作原理及能量传递方式两方面介绍微波等离子体技术,在此基础上,结合实验结果及现有研究成果对微波等离子体的发射光谱特性及温度特性进行论述。在微波等离子体应用研究方面,归纳总结了电子回旋共振微波等离子体、表面波等离子体、谐振腔微波等离子体等几种典型的微波等离子体技术及其特点,结合在薄膜沉积、废气处理、微量元素检测等方面的应用研究现状,对微波等离子体技术存在的问题及发展趋势进行了分析和展望。