中国集成电路制造行业VOCs排放特征及控制对策

中国电子信息产业发展迅速,集成电路等电子器件产量不断增加.在集成电路制造的过程中,大量有机溶剂的使用导致VOCs的产生和排放,从而对大气环境造成影响.为掌握集成电路制造行业VOCs的排放特征,系统分析了其工艺流程和产排污环节,分析了行业废气收集和治理现状,通过对典型企业VOCs的排放监测,获得VOCs排放水平;采用排放因子法核算行业VOCs历史排放量,并基于行业排放特征及减排潜力分析,提出了相应的污染防治对策.结果表明：在集成电路制造中,VOCs排放环节主要集中在光刻、清洗、去胶等过程,1 m²集成电路产量约使用87 g有机溶剂,VOCs产生量较大;通过采取高效的VOCs治理技术,集成电路制造行业有组织排放水平较低,平均浓度为2.1 mg·m^-3,但厂界无组织排放浓度相对较高,平均浓度为0.78 mg·m^-3,接近国家标准的排放限值.根据排放量核算结果,2011—2016年中国集成电路制造行业VOCs排放量呈逐年上升的趋势,主要受产量增加而相应污染控制技术水平提升有限的影响,无组织排放量比重大,占排放总量的38.1%~45.1%.     

北京市电子工业VOCs排放特征及行业排放强度对比

为更好地掌握北京市电子工业挥发性有机物（VOCs）排放特征及其与其他溶剂使用行业的排放差异,为工业结构调整提供启发和建议,通过实际监测,识别电子工业有组织和无组织VOCs排放水平,采用产污系数法并结合集气效率和去除效率,核算得到2019年北京市电子工业VOCs排放量及各子行业的排放贡献,并与其他典型溶剂使用行业的VOCs排放强度进行了对比.结果表明:电子工业VOCs产生主要集中在光刻、清洗、剥离、显影等环节,使用的有机溶剂主要包括光刻胶、稀释剂、清洗剂和去除剂,分别约占3%、81%、6%和10%,其中约16%以废气形式排入大气.核算得到2019年北京市电子工业VOCs排放量为1 542 t,主要来自显示器件和集成电路行业,分别贡献了71%和18%,与其产量和有机溶剂使用量较大有关,电子专用材料制造和其他行业则分别贡献了3.2%和7.8%.通过与其他典型溶剂使用行业排放强度对比发现,电子工业单位产值VOCs排放强度较低,是家具制造、印刷等传统溶剂使用行业的1/2 750和1/3 250,说明北京市工业结构调整和优化对于减少污染排放具有重要作用.研究显示,可综合城市发展及经济水平,逐步限制发展高排放工业类别,鼓励发展如电子工业等技术密集型和附加值高的行业类别,从而促进城市空气质量的改善.      

基于道路遥感监测的北京市汽油车大气污染排放水平及对标准修订的启示

机动车遥感监测（以下简称遥测）具有快速和便捷特点,可减轻人工执法工作量,为机动车污染排放监管和执法提供良好的支持.本研究对北京市2021年1—4月60个道路机动车遥测站点污染排放数据进行统计分析,获取了北京市汽油车大气污染物排放浓度（均为体积浓度）累积分布概率等排放特征.通过数据比对和典型现场实验,对车辆在稳态工况法（ASM）和遥测大气污染物排放数据进行相关性分析,并提出了北京市地方标准修订的建议.研究结果表明：①将监测到的1149.7万条数据按污染物浓度由高到低的顺序排列,累积分布概率前10%、50%和90%的CO浓度分别为1.73%、0.58%和0.16%;HC分别为96.38×10^-6、22.44×10^-6和6.59×10^-6 ;NO则为686.58×10^-6、117.70×10^-6和24.13×10^-6.②排放水平与排放标准有较大的关系,其中国VI排放标准车辆污染物浓度水平显著低于国I车辆,累积分布概率前10%、50%和90%对应的CO浓度下降率为54.83%~85.71%,HC下降率为75.71%~85.35%,NO则为65.73%~85.00%.③与稳态工况法相关性分析表明,在样本量较大的情况下,两种方法检出的排放水平趋于一致,但对于单个车辆来讲,具有一定的波动性.④现执行的北京市地方标准污染物种类不全,限值较为宽松,建议充分利用现有的遥测设备资源,将HC和NO纳入标准限值,筛查高排放车辆,提高机动车排放监管和执法效率.