臭氧发生系统中半导体制冷干燥装置的研制

本文介绍了未经过干燥处理的原料气进入电晕放电臭氧发生系统后的危害机理 ,根据半导体的制冷干燥机理 ,开发研制了实验室用半导体制冷干燥装置 ,实验证明该装置的研制是成功的。