晶硅切割废砂浆回收企业废水处理工程实例

晶硅切割砂浆中含有聚乙二醇(PEG)和碳化硅,可回收资源。回收过程中产生的废水中仍然含有PEG和碳化硅,以致废水中悬浮物浓度较高、可生化性差。工程设计采用"预沉淀+混凝沉淀+气浮+催化氧化+A/O生化"处理工艺,经过5个月的调试运行,出水COD、SS可达GB 8978—1996《污水综合排放标准》三级标准。