| 半导体行业挥发性有机物(VOCs)排放特征研究 |
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| 引用本文： | 徐捷,魏海萍,修光利,伏晴艳,吴迓名,李炎,王歆文.半导体行业挥发性有机物(VOCs)排放特征研究[J].环境科学与管理,2007,32(10):37-42. |
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| 作者姓名： | 徐捷 魏海萍 修光利 伏晴艳 吴迓名 李炎 王歆文 |
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| 作者单位： | 1. 上海市环境监测中心,上海,200030
2. 华东理工大学,上海,200237 |
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| 摘 要： | 采用工艺调查与现场监测相结合的方法,研究了半导体行业废气排放中VOCs的种类和排放水平.结果表明,共检测出26种有机物,其中以异丙醇排放量最大.采用排放系数法估算了该行业VOCs2004年的排放量和2010年的预期排放量,并提出了加强和完善排放标准控制以及清洁生产等控制措施的建议.
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| 关 键 词： | 挥发性有机物(VOCs) 半导体制造 排放速率 半导体 行业 挥发性有机物 VOCs 排放系数 特征研究 Volatile Organic Compounds Emission Study Industry Manufacture 控制措施 清洁生产 标准控制 完善 加强 预期 估算 排放量 异丙醇 |
| 文章编号： | 1673-1212(2007)10-0037-05 |
| 修稿时间： | 2007年5月17日 |
Study on the Emission of Volatile Organic Compounds (VOCs) from Semiconductor Manufacture Industry |
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| Xu Jie,Wei Haiping,Xiu Guangli,Fu Qingyan,Wu Yaming,Li Yan,Wang Xinwen.Study on the Emission of Volatile Organic Compounds (VOCs) from Semiconductor Manufacture Industry[J].Environmental Science and Management,2007,32(10):37-42. |
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| Authors: | Xu Jie Wei Haiping Xiu Guangli Fu Qingyan Wu Yaming Li Yan Wang Xinwen |
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