宇航用硅基高压快恢复整流二极管单粒子烧毁效应研究

目的针对宇航用硅基高压快恢复整流二极管开展单粒子效应研究。方法针对型号常用的各种工艺结构高压快恢复整流二极管系统,研究地面单粒子效应试验方法,包括粒子选择及注量率、单粒子效应检测系统、基于等效制样的单粒子效应试验样品匹配、试验流程,并选取三款典型器件进行单粒子评估试验,根据试验结果对硅基二极管单粒子烧毁失效的机理进行初步分析。结果得出了三款典型器件在各偏置电压下抗单粒子烧毁的LET阈值。结论形成了较为系统的高压二极管单粒子评估的试验方法,并可工程化应用。