膜电解法在线再生酸性蚀刻液及回收铜新技术

采用极化曲线法研究了酸性蚀刻液阴、阳极电化学行为，并构建了离子膜电解反应体系，考察了在线再生酸性蚀刻液及回收铜的效果。结果表明，阳极氧化过程发生浓差极化，存在极限电流密度，Cu＋含量越高，极限电流密度越大；阴极还原分4步反应进行，存在极限电流密度；强化溶液传质可有效提高阴、阳极极限电流密度，有利于避免电解过程中析出氯气和氢气；在线实验表明，通过监控阳极液ORP，可避免析出氯气；分步降低电流电解有利于避免析出氢气，形成致密的金属铜块；在电流为9～24A范围内分4步电解23．5h可再生酸性蚀刻液23．5L，同时电沉积回收510g铜，纯度高达99．98％。阴极电流效率达到95．2％，吨铜电耗3251kWh。电解过程中无氯气和氢气析出，无废液排放，表明膜电解法在线再生酸性蚀刻液具有良好的应用前景。