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中国集成电路制造行业VOCs排放特征及控制对策 总被引:2,自引:0,他引:2
中国电子信息产业发展迅速,集成电路等电子器件产量不断增加.在集成电路制造的过程中,大量有机溶剂的使用导致VOCs的产生和排放,从而对大气环境造成影响.为掌握集成电路制造行业VOCs的排放特征,系统分析了其工艺流程和产排污环节,分析了行业废气收集和治理现状,通过对典型企业VOCs的排放监测,获得VOCs排放水平;采用排放因子法核算行业VOCs历史排放量,并基于行业排放特征及减排潜力分析,提出了相应的污染防治对策.结果表明:在集成电路制造中,VOCs排放环节主要集中在光刻、清洗、去胶等过程,1 m2集成电路产量约使用87 g有机溶剂,VOCs产生量较大;通过采取高效的VOCs治理技术,集成电路制造行业有组织排放水平较低,平均浓度为2.1 mg·m-3,但厂界无组织排放浓度相对较高,平均浓度为0.78 mg·m-3,接近国家标准的排放限值.根据排放量核算结果,2011—2016年中国集成电路制造行业VOCs排放量呈逐年上升的趋势,主要受产量增加而相应污染控制技术水平提升有限的影响,无组织排放量比重大,占排放总量的38.1%~45.1%. 相似文献
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河南省漯河市电业局有变电站11座,其中220kV变电站2座,110kV变电站9座。担负着4县(郾城县、临颍县、舞阳县,西平县)一区(源汇区)的供电任务,供电面积6000多平方公里,用电人口达380万。以220kV英章变电站为核心与220kV网络相连,直供干河陈变等7座110kV变电站,日最高供电负荷26万kVA。 相似文献
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集成电路是军用电子设备最重要的器件之一,集成电路的质量直接影响到军用装备的质量。从集成电路的选择、二次筛选和破坏性物理分析(DPA)这几个方面探讨了军用集成电路的质量控制方法。实践证明通过质量控制筛选得到的集成电路整批使用可靠性都有明显的提高。 相似文献
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介绍了HALT和HASS技术的概念和内涵,探讨了混合集成电路HALT和HASS技术应用的基本原理以及具体的应用方法和流程。 相似文献
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2015年3月26日,“2015年中国半导体市场年会暨第四届中国集成电路产业创新大会”将在中国集成电路产业新发展极、“大湖名城,创新高地”合肥市天鹅湖大酒店召开。本次年会由中国半导体行业协会、中国电子信息产业发展研究院(赛迪集团)与合肥市人民政府主办,赛迪顾问股份有限公司、合肥市发展和改革委员会、合肥高新技术产业开发区管委及中国电子报共同承办,将以“把脉市场牵引契机,推进产业跨越发展”为主题,聚焦移动互联与半导体应用创新、 相似文献
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《资源节约和综合利用》2010,(11):6-7
11月6日,中国残疾人福利基金会理事长、中芯国际董事长江上舟在上海浦汀创新论坛上称,中国半导体行业协会受工信部委托在完成“十二五”集成电路重大规划的同时,正在就中国缺芯问题制定重大规划。 相似文献